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怎么清洗石墨舟?

2019-10-09

石墨舟的清洗步驟如下:

1>.一般石墨舟在運行 100 至 120 次后就應該對石墨舟進行清洗,石墨舟清洗次數達到后,硅片會發紅。 這是因為舟上的 SiN 會隨著運行次數的增加而增加,影響舟的正常使用。


 2>.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。


濃度是 10%, 腐蝕時間為 10-12小時。低濃度條件下,腐蝕槽會被產生的 SiN 顆粒污染,因此需要進行定期的過濾維護。 濃度高于 10%會對操作人員造成危險。其他部件應該被分開放入腐蝕槽內并且不可互相接觸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這對于石墨連接塊而言更為重要。


 3.在 2 號純水槽內將其用純水漂洗3次,每次2-3小時。


用 PH-試紙檢查流動的水是不是中性的(基本數值5-6弱酸,為正常),必須保證蝕刻殘渣(SiF4)都已經被洗掉,任何蝕刻殘渣被帶入爐管都可能引起沾污或者工藝問題。 可以在石墨上看到白色的一層就是殘渣,其他部件都必須分開放置這樣可以避免酸液殘留在其中。


 4.用氮氣槍吹干,在 120-150℃條件下,將石墨舟烘干10-12小時。


接著進行鍍舟工藝,花費3小時20分-4小時。鍍舟工藝與普通工藝不同,在鍍舟結束后,先進行空鍍,空鍍后再進行插片使用。


 5.酸洗排酸時,噴淋要打開。水洗排水時,鼓泡要打開,讓其流動。一般酸洗10-12小時可洗干凈,如果沒洗干凈可先嘗試補酸4升,直到清洗干凈為止。還是沒法洗凈的話,需要嚴查清洗時間是否符合標準。

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