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石墨舟推舟系統

2019-10-09

  石墨舟推舟系統 石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應管內部后,石墨舟推舟機構將退出,自動門關上。載片舟是經特殊設計,在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調,再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關,所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統:即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。 記者在現場看到,ABB展示針對太陽能行業的一系列先進產品、技術和解決方案,包括工業機器人、低壓產品、光伏產品以及可編程邏輯控制器。其中,專用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB機器人自動工作站配備有ABB“全能冠軍”之稱的機器人IRB 1600,被廣泛應用于太陽能管式PECVD工藝流程石墨舟的取片/插片。

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